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硅片厚度測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述:硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SIT-200
  • 更新時(shí)間:2024-12-26
  • 訪  問  量:927

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
組件類別其他應(yīng)用領(lǐng)域電子

詳細(xì)介紹

硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200

硅片厚度測(cè)量?jī)x(SIT-200)由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。


硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200產(chǎn)品特點(diǎn):

l  全光學(xué),非接觸硅片厚度測(cè)試

l  高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面

l  濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測(cè)量

高靈敏度         高精度           快速測(cè)量        遠(yuǎn)程控制


結(jié)構(gòu)示意圖

SIT-200

產(chǎn)品參數(shù):

測(cè)量目標(biāo)  

硅片  

測(cè)量厚度  

10-500μm

光源  

1515-1585nm掃描

功率  

0.6mw,Class1

指示光源  

紅光,Class1M

測(cè)量時(shí)間  

20ms

重復(fù)性  

0.1μm

輸出監(jiān)控  

干擾信號(hào)(電學(xué))  

PC接口

網(wǎng)口  

供電  

100-240V50/60Hz

尺寸  

364 x 147 x 391mm

重量  

9kg




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